為滿足國(guó)外用戶對(duì)FE-2100RMD多極磁環(huán)測(cè)試能力考察，較細(xì)致的進(jìn)行了測(cè)試實(shí)驗(yàn)，并對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行分析總結(jié)，基本上達(dá)到理想效果，通過(guò)實(shí)驗(yàn)總結(jié)，后期對(duì)產(chǎn)品的出廠可參考來(lái)用作為檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)，在掌握自身產(chǎn)品測(cè)試能力的同時(shí)，保證產(chǎn)品測(cè)試精度和一致性。
多極磁環(huán)極寬測(cè)試考核步驟
1、選取磁環(huán)八極樣品，隨機(jī)標(biāo)注四個(gè)測(cè)試大致位置，用于取放樣品測(cè)試考核使用；
2、參考樣品所帶卡簧，用它作為安裝到卡盤上的止位高度；
3、裝入卡盤，以卡簧為參考，確保探頭回位測(cè)試點(diǎn)在一個(gè)水平面上。
四、調(diào)節(jié)探頭到環(huán)中部，設(shè)定測(cè)試點(diǎn)位置和停機(jī)點(diǎn)位置，開(kāi)始測(cè)試（芯片距離磁環(huán)壁0.3mm）。
五、隨機(jī)按要求控制高度安裝連續(xù)測(cè)試4次，對(duì)應(yīng)各磁極分布對(duì)應(yīng)情況
1、4次疊加考核設(shè)備對(duì)應(yīng)固定位置重復(fù)性如下圖：
2、峰值*大值**偏差：2Gs，磁場(chǎng)*小值**偏差：0Gs；平均值*大偏差：1Gs；
3、磁極*大極寬**偏差：0.02°，磁極*小極寬**偏差：0.03°；
4、四次各磁極極寬對(duì)應(yīng)表如下（單位°）：
|
次數(shù)
|
1(N)
|
2(S)
|
3(N)
|
4(S)
|
5(N)
|
6(S)
|
7(N)
|
8(S)
|
|
1
|
44.83
|
45.13
|
44.74
|
45.5
|
45.08
|
45.23
|
44.66
|
44.83
|
|
2
|
44.82
|
45.13
|
44.75
|
45.5
|
45.08
|
45.21
|
44.68
|
44.83
|
|
3
|
44.83
|
45.13
|
44.73
|
45.51
|
45.09
|
45.21
|
44.66
|
44.84
|
|
4
|
44.81
|
45.14
|
44.73
|
45.52
|
45.07
|
45.23
|
44.65
|
44.85
|
5、各磁極寬度在極坐標(biāo)中獲得
六、移開(kāi)探頭取出樣品，旋轉(zhuǎn)一個(gè)角度安裝，探頭自動(dòng)回位重新連續(xù)測(cè)試5次，對(duì)應(yīng)各磁極分布對(duì)應(yīng)情況
1、五次疊加考核設(shè)備對(duì)應(yīng)固定位置重復(fù)性
2、峰值*大值**偏差：1Gs，磁場(chǎng)*小值**偏差：2Gs；平均值*大偏差：1Gs；
3、磁極*大極寬**偏差：0.02°，磁極*小極寬**偏差：0.02°；
4、五次各磁極極寬對(duì)應(yīng)表如下（單位°）：
|
次數(shù)
|
1(S)
|
2(N)
|
3(S)
|
4(N)
|
5(S)
|
6(N)
|
7(S)
|
8(N)
|
|
1
|
45.69
|
45.14
|
45.14
|
44.72
|
44.83
|
44.64
|
44.98
|
44.86
|
|
2
|
45.71
|
45.12
|
45.14
|
44.72
|
44.83
|
44.64
|
44.98
|
44.86
|
|
3
|
45.71
|
45.14
|
45.14
|
44.71
|
44.84
|
44.64
|
44.97
|
44.85
|
|
4
|
45.68
|
45.17
|
45.12
|
44.74
|
44.82
|
44.64
|
44.98
|
44.85
|
|
5
|
45.68
|
45.14
|
45.14
|
44.72
|
44.82
|
44.66
|
44.96
|
44.88
|
七、移開(kāi)探頭取出樣品，旋轉(zhuǎn)下一個(gè)角度安裝，探頭自動(dòng)回位重新連續(xù)測(cè)試5次，對(duì)應(yīng)各磁極分布對(duì)應(yīng)情況
1、五次疊加考核設(shè)備對(duì)應(yīng)固定位置重復(fù)性
2、峰值*大值**偏差：1Gs，磁場(chǎng)*小值**偏差：2Gs；平均值*大偏差：2Gs；
3、磁極*大極寬**偏差：0.03°，磁極*小極寬**偏差：0.04°；
4、五次各磁極極寬對(duì)應(yīng)表如下（單位°）：
|
次數(shù)
|
1(S)
|
2(N)
|
3(S)
|
4(N)
|
5(S)
|
6(N)
|
7(S)
|
8(N)
|
|
1
|
45.3
|
44.67
|
44.83
|
44.61
|
45.05
|
44.79
|
45.45
|
45.3
|
|
2
|
45.3
|
44.67
|
44.8
|
44.63
|
45.05
|
44.78
|
45.46
|
45.3
|
|
3
|
45.25
|
44.72
|
44.8
|
44.61
|
45.08
|
44.76
|
45.47
|
45.31
|
|
4
|
45.27
|
44.7
|
44.82
|
44.59
|
45.09
|
44.76
|
45.45
|
45.29
|
|
5
|
45.29
|
44.7
|
44.83
|
44.6
|
45.06
|
44.78
|
45.46
|
45.28
|
八、移開(kāi)探頭取出樣品，旋轉(zhuǎn)下一個(gè)角度安裝，探頭自動(dòng)回位重新連續(xù)測(cè)試5次，對(duì)應(yīng)各磁極分布對(duì)應(yīng)情況
1、五次疊加考核設(shè)備對(duì)應(yīng)固定位置重復(fù)性
2、峰值*大值**偏差：2Gs，磁場(chǎng)*小值**偏差：2Gs；平均值*大偏差：1Gs；
3、磁極*大極寬**偏差：0.02°，磁極*小極寬**偏差：0.03°；
4、五次各磁極極寬對(duì)應(yīng)表如下（單位°）：
|
次數(shù)
|
1(N)
|
2(S)
|
3(N)
|
4(S)
|
5(N)
|
6(S)
|
7(N)
|
8(S)
|
|
1
|
44.89
|
44.97
|
44.55
|
45.05
|
44.78
|
45.51
|
45.09
|
45.3
|
|
2
|
44.88
|
44.97
|
44.59
|
45.01
|
44.8
|
45.48
|
45.12
|
45.15
|
|
3
|
44.86
|
44.99
|
44.58
|
45
|
44.82
|
45.48
|
45.11
|
45.16
|
|
4
|
44.84
|
45.01
|
44.56
|
45.03
|
44.79
|
45.5
|
45.09
|
45.18
|
|
5
|
44.87
|
44.98
|
44.56
|
45.04
|
44.78
|
45.51
|
45.08
|
45.18
|
九、磁極對(duì)應(yīng)整體數(shù)據(jù)
|
次數(shù)
|
1(N)
|
2(S)
|
3(N)
|
4(S)
|
5(N)
|
6(S)
|
7(N)
|
8(S)
|
|
1
|
44.83
|
45.13
|
44.74
|
45.5
|
45.08
|
45.23
|
44.66
|
44.83
|
|
44.82
|
45.13
|
44.75
|
45.5
|
45.08
|
45.21
|
44.68
|
44.83
|
|
44.83
|
45.13
|
44.73
|
45.51
|
45.09
|
45.21
|
44.66
|
44.84
|
|
44.81
|
45.14
|
44.73
|
45.52
|
45.07
|
45.23
|
44.65
|
44.85
|
|
2
|
44.64
|
44.98
|
44.86
|
45.69
|
45.14
|
45.14
|
44.72
|
44.83
|
|
44.64
|
44.98
|
44.86
|
45.71
|
45.12
|
45.14
|
44.72
|
44.83
|
|
44.64
|
44.97
|
44.85
|
45.71
|
45.14
|
45.14
|
44.71
|
44.84
|
|
44.64
|
44.98
|
44.85
|
45.68
|
45.17
|
45.12
|
44.74
|
44.82
|
|
44.66
|
44.96
|
44.88
|
45.68
|
45.14
|
45.14
|
44.72
|
44.82
|
|
3
|
44.64
|
44.98
|
44.86
|
45.69
|
45.14
|
45.14
|
44.72
|
44.83
|
|
44.64
|
44.98
|
44.86
|
45.71
|
45.12
|
45.14
|
44.72
|
44.83
|
|
44.64
|
44.97
|
44.85
|
45.71
|
45.14
|
45.14
|
44.71
|
44.84
|
|
44.64
|
44.98
|
44.85
|
45.68
|
45.17
|
45.12
|
44.74
|
44.82
|
|
44.66
|
44.96
|
44.88
|
45.68
|
45.14
|
45.14
|
44.72
|
44.82
|
|
4
|
44.61
|
45.05
|
44.79
|
45.45
|
45.3
|
45.3
|
44.67
|
44.83
|
|
44.63
|
45.05
|
44.78
|
45.46
|
45.3
|
45.3
|
44.67
|
44.8
|
|
44.61
|
45.08
|
44.76
|
45.47
|
45.31
|
45.25
|
44.72
|
44.8
|
|
44.59
|
45.09
|
44.76
|
45.45
|
45.29
|
45.27
|
44.7
|
44.82
|
|
44.6
|
45.06
|
44.78
|
45.46
|
45.28
|
45.29
|
44.7
|
44.83
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
*大值
|
44.83
|
45.14
|
44.88
|
45.71
|
45.3
|
45.3
|
44.74
|
44.85
|
|
*小值
|
44.59
|
44.97
|
44.73
|
45.45
|
45.07
|
45.12
|
44.66
|
44.8
|
|
偏差
|
0.24
|
0.17
|
0.15
|
0.26
|
0.23
|
0.18
|
0.08
|
0.05
|
多極磁環(huán)極寬測(cè)試考核結(jié)論：
1、設(shè)備測(cè)試前進(jìn)行過(guò)同心度檢驗(yàn)，偏差0.05mm；
2、樣品直徑：38.05mm，圓度偏差：0.02mm（38.04~38.06mm）
3、經(jīng)過(guò)取放四次，重新安裝，探頭回位測(cè)試，主要考察磁極寬度，峰值可參考原始數(shù)據(jù)。
4、磁極寬度偏差不超過(guò)0.3°。
